非晶态ITO透明导电薄膜的制备及热处理晶化技术研究进展

李佳明, 姜良宝, 陈牧, 李晓宇, 韦友秀, 张晓锋, 马一博, 颜悦

航空材料学报 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (5) : 24-35.

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航空材料学报 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (5) : 24-35. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2018.000035

非晶态ITO透明导电薄膜的制备及热处理晶化技术研究进展

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Research Progress in Preparation and Crystallization Technologies of Amorphous ITO Film

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