（100）/（111）面金刚石膜抗氧等离子刻蚀能力

孙祁, 汪建华, 程翀, 陈祥磊, 吴荣俊, 刘单, 祝娇

航空材料学报 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (2) : 55-60.

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航空材料学报 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (2) : 55-60. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2018.000016
研究论文

（100）/（111）面金刚石膜抗氧等离子刻蚀能力

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Resistance abilities of （100）/（111）-faceted diamond films against oxygen plasma etching

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