化学气相沉积法制备吸波型SiCN陶瓷的研究进展

穆阳阳, 涂建勇, 薛继梅, 叶昉, 成来飞

航空材料学报 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (3) : 1-9.

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航空材料学报 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (3) : 1-9. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2018.000132

化学气相沉积法制备吸波型SiCN陶瓷的研究进展

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Research progress on SiCN ceramic prepared at low temperature by chemical vapor deposition

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