基片偏压对磁控溅射制备TiB2涂层结构及性能的影响

谷文翠;李寿德;王怀勇;陈春立;李朋;黄峰

航空材料学报 ›› 2014, Vol. 34 ›› Issue (5) : 37-42.

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航空材料学报 ›› 2014, Vol. 34 ›› Issue (5) : 37-42. 　DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2014.5.006
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基片偏压对磁控溅射制备TiB2涂层结构及性能的影响

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Influence of Bias Voltage on Microstructure and Properties of Magnetron Sputtering TiB2 Coating

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