薄膜应力测量方法及影响因素研究进展

马一博, 陈牧, 颜悦, 刘伟明, 韦友秀, 张晓锋, 李佳明

航空材料学报 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (1) : 17-25.

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航空材料学报 ›› 2018, Vol. 38 ›› Issue (1) : 17-25. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2017.000126
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薄膜应力测量方法及影响因素研究进展

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Research Progress on Measurement Methods and Influence Factors of Thin-film Stress

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