退火工艺对磁控溅射LiCoO2薄膜形貌与力学性能的影响

马一博, 陈牧, 颜悦, 张晓锋, 刘伟明, 李佳明, 张旋

航空材料学报 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (6) : 90-98.

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航空材料学报 ›› 2019, Vol. 39 ›› Issue (6) : 90-98. 　DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2019.000091
研究论文

退火工艺对磁控溅射LiCoO2薄膜形貌与力学性能的影响

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Effects of annealing process on morphology and mechanical properties of magnetron sputtered LiCoO2 thin films

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