退火气氛对ZnO∶Al薄膜光学、电学和微结构的影响

郝常山, 彭晶晶, 雷沛, 钟艳莉, 张旋, 纪建超, 霍钟祺

航空材料学报 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (4) : 134-140.

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航空材料学报 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (4) : 134-140. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2021.000001
研究论文

退火气氛对ZnO∶Al薄膜光学、电学和微结构的影响

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Effect of annealing atmosphere on optical, electrical properties and microstructure of ZnO∶Al films

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