高温退火处理对ZnO压电涂层结构和性能的影响

乔廷强, 张翔宇, 杨兵, 张冰, 金圣展, 张俊, 王川

航空材料学报 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (2) : 83-89.

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航空材料学报 ›› 2023, Vol. 43 ›› Issue (2) : 83-89. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2022.000116
研究论文

高温退火处理对ZnO压电涂层结构和性能的影响

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Effect of high temperature annealing on structure and properties of ZnO piezoelectric coating

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