用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统

霍晓;任家烈;鹿安理

航空材料学报 ›› 1994, Vol. 14 ›› Issue (3) : 42-47.

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航空材料学报 ›› 1994, Vol. 14 ›› Issue (3) : 42-47.
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用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统

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A MICROWAVE PLASMA CVD SYSTEM FOR SYNTHESIS OF DIAMOND FILM

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