离子注入铜薄膜后的氧化行为

王晓震;王二敏;赵新清

航空材料学报 ›› 1999, Vol. 19 ›› Issue (4) : 22-26.

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航空材料学报 ›› 1999, Vol. 19 ›› Issue (4) : 22-26.
论文

离子注入铜薄膜后的氧化行为

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Oxidation behavior of copper thin films by ion implantation

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