赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜

韩丽君;江兴流;文雄伟

航空材料学报 ›› 2002, Vol. 22 ›› Issue (2) : 24-28.

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赝火花脉冲电子束烧蚀制备纳米薄膜

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Preparation of nanometer thin films by nanosecond pseudospark beam ablation

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