强流脉冲电子束烧蚀法沉积LiNbO3铁电薄膜

韩丽君;谭轶平;江兴流

航空材料学报 ›› 2002, Vol. 22 ›› Issue (3) : 46-49,54.

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强流脉冲电子束烧蚀法沉积LiNbO3铁电薄膜

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Deposition of ferroelectrics LiNbO3 films with intense pulsed electron beam ablation

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