CVD过程中温度对SiC涂层沉积速率及组织结构的影响

刘荣军;张长瑞;刘晓阳;周新贵;曹英斌

航空材料学报 ›› 2004, Vol. 24 ›› Issue (4) : 22-26.

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论文

CVD过程中温度对SiC涂层沉积速率及组织结构的影响

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The effects of deposition temperature on the depositon rates and structures of CVD SiC coatings

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