溅射工艺对TiAlN薄膜摩擦学性能的影响

罗飞;何欣;杨会生;高克玮;王燕斌

航空材料学报 ›› 2007, Vol. 27 ›› Issue (2) : 33-36.

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航空材料学报 ›› 2007, Vol. 27 ›› Issue (2) : 33-36.
论文

溅射工艺对TiAlN薄膜摩擦学性能的影响

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Effect of Processing Condition on the Tribological Property of Sputtered TiAlN Thin Films

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