磁控溅射沉积工艺条件对薄膜厚度均匀性的影响

温培刚;颜悦;张官理;望咏林

航空材料学报 ›› 2007, Vol. 27 ›› Issue (3) : 66-68.

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航空材料学报 ›› 2007, Vol. 27 ›› Issue (3) : 66-68.
论文

磁控溅射沉积工艺条件对薄膜厚度均匀性的影响

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Influences of the Process on Thickness Uniformity of Films Deposited by Magnetron Sputtering

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