射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究

高原;秦晓刚;郭云;刘惠涛

航空材料学报 ›› 2009, Vol. 29 ›› Issue (5) : 61-65.

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论文

射频磁控溅射法制备聚氟薄膜及其性能研究

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Preparation and Performance Study of Polyfluorin Thin Film by Radio Frequency Magnetron Sputtering Method

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