周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响

罗庆洪;杨会生;陆永浩;娄艳芝;于栋利;王燕斌

航空材料学报 ›› 2010, Vol. 30 ›› Issue (2) : 45-50.

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周期结构对AlTiN多层薄膜结合能影响

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Effect of AlTiN Composition Multilayer Coatings Periodic Structure on Adhesion

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