沉积温度突变导致金刚石膜中大量黑色缺陷形成的孪晶模型

姜春生;刘政;郭世斌;唐伟忠;吕反修

航空材料学报 ›› 2010, Vol. 30 ›› Issue (2) : 51-57.

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航空材料学报 ›› 2010, Vol. 30 ›› Issue (2) : 51-57.
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沉积温度突变导致金刚石膜中大量黑色缺陷形成的孪晶模型

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Twin Model on Dark Features Formation in Diamond Films by Deposition Temperature Changed

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