冷态输送ZrCl4低压化学气相沉积ZrC涂层的制备

刘岗;李国栋;熊翔;王雅雷;陈招科;孙威

航空材料学报 ›› 2011, Vol. 31 ›› Issue (6) : 36-42.

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冷态输送ZrCl4低压化学气相沉积ZrC涂层的制备

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Preparation of ZrC Film by Transporting Solid ZrCl4 during Low Pressure Chemical Vapor Deposition

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