溅射工艺对D/M/D结构中SiNx介质膜光学常数的影响

孙瑶, 汪洪

航空材料学报 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (4) : 28-33.

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航空材料学报 ›› 2015, Vol. 35 ›› Issue (4) : 28-33. DOI: 10.11868/j.issn.1005-5053.2015.4.005
论文

溅射工艺对D/M/D结构中SiNx介质膜光学常数的影响

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Influence of Sputter Parameters on Optical Constants of SiNx Dielectric Film in D/M/D Structures

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