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CVD过程中温度对SiC涂层沉积速率及组织结构的影响
刘荣军;张长瑞;刘晓阳;周新贵;曹英斌
The effects of deposition temperature on the depositon rates and structures of CVD SiC coatings
LIU Rongjun;ZHANG Changrui;LIU Xiaoyang;ZHOU Xingui;CAO Yingbin
. 2004, (4): 22 -26 .