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冷态输送ZrCl4低压化学气相沉积ZrC涂层的制备
刘岗;李国栋;熊翔;王雅雷;陈招科;孙威
Preparation of ZrC Film by Transporting Solid ZrCl4 during Low Pressure Chemical Vapor Deposition
LIU Gang;LI Guo-dong;XIONG Xiang;WANG Ya-lei;CHEN Zhao-ke;SUN Wei
. 2011, (6): 36 -42 .